mems加速度传感器:MEMS传感器

2021/10/30 08:35 · 传感器知识资讯 ·  · mems加速度传感器:MEMS传感器已关闭评论
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MEMS传感器
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MEMS传感器即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems),是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。截止到2010年,全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作,已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品,其中MEMS传感器占相当大的比例。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比,它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时,在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。
中文名
MEMS传感器
外文名
MEMS SENSOR
含 义
微机电系统
涉 及
电子、机械、材料、物理学
目录
1
应用
2
研究现状
3
分类
4
总结
MEMS传感器应用
编辑
语音
1.应用于医疗
MEMS传感器应用于无创胎心检测,检测胎儿心率是一项技术性很强的工作,由于胎儿心率很快,在每分钟l20~160次之间,用传统的听诊器甚至只有放大作用的超声多普勒仪,用人工计数很难测量准确。而具有数字显示功能的超声多普勒胎心监护仪,价格昂贵,仅为少数大医院使用,在中、小型医院及广大的农村地区无法普及。此外,超声振动波作用于胎儿,会对胎儿产生很大的不利作用。尽管检测剂量很低,也属于有损探测范畴,不适于经常性、重复性的检查及家庭使用。
基于VTI公司的MEMS加速度传感器,提出一种无创胎心检测方法,研制出一种简单易学、直观准确的介于胎心听诊器和多普勒胎儿监护仪之间的临床诊断和孕妇自检的医疗辅助仪器。
通过加速度传感器将胎儿心率转换成模拟电压信号,经前置放大用的仪器放大器实现差值放大。然后进行滤波等一系列中间信号处理,用A/D转换器将模拟电压信号转换成数字信号。通过光隔离器件输入到单片机进行分析处理,最后输出处理结果。
基于MEMS加速度传感器设计的胎儿心率检测仪在适当改进后能够以此为终端,做一个远程胎心监护系统。医院端的中央信号采集分析监护主机给出自动分析结果,医生对该结果进行诊断,如果有问题及时通知孕妇到医院来。该技术有利于孕妇随时检查胎儿的状况,有利于胎儿和孕妇的健康。
2.应用在汽车电子
MEMS压力传感器主要应用在测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力。这种传感器用单晶硅作材料,以采用MEMS技术在材料中间制作成力敏膜片,然后在膜片上扩散杂质形成四只应变电阻,再以惠斯顿电桥
应用在汽车中的MEMS传感器
方式将应变电阻连接成电路,来获得高灵敏度。车用MEMS压力传感器有电容式、压阻式、差动变压器式、声表面波式等几种常见的形式。而MEMS加速度计的原理是基于牛顿的经典力学定律,通常由悬挂系统和检测质量组成,通过微硅质量块的偏移实现对加速度的检测,主要用于汽车安全气囊系统、防滑系统、汽车导航系统和防盗系统等,除了有电容式、压阻式以外,MEMS加速度计还有压电式、隧道电流型、谐振式和热电偶式等形式。其中,电容式MEMS加速度计具有灵敏度高、受温度影响极小等特点,是MEMS微加速度计中的主流产品。微陀螺仪是一种角速率传感器,主要用于汽车导航的GPS信号补偿和汽车底盘控制系统,主要有振动式、转子式等几种。应用最多的属于振动陀螺仪,它利用单晶硅或多晶硅的振动质量块在被基座带动旋转时产生的哥氏效应来感测角速度。例如汽车在转弯时,系统通过陀螺仪测量角速度来指示方向盘的转动是否到位,主动在内侧或者外侧车轮上加上适当的制动以防止汽车脱离车道,通常,它与低加速度计一起构成主动控制系统。
3.应用于运动追踪系统
在运动员的日常训练中,MEMS传感器可以用来进行3D人体运动测量,对每一个动作进行记录,教练们对结果分析,反复比较,以便提高运动员的成绩。随着MEMS技术的进一步发展,MEMS传感器的价格也会随着降低,这在大众健身房中也可以广泛应用。
  在滑雪方面,3D运动追踪中的压力传感器、加速度传感器、陀螺仪以及GPS可以让使用者获得极精确的观察能力,除了可提供滑雪板的移动数据外,还可以记录使用者的位置和距离。在冲浪方面也是如此,安装在冲浪板上的3D运动追踪,可以记录海浪高度、速度、冲浪时间、浆板距离、水温以及消耗的热量等信息。
4.应用在手机拍照领域
在MEMS Drive出现之前,手机摄像头主要由音圈马达移动镜头组的方式实现防抖(简称镜头防抖技术),受到很大的局限。而另一个在市场上较高端的防抖技术:多轴防抖,则是利用移动图像传感器(Image Sensor)补偿抖动,但由于这个技术体积庞大、耗电量超出手机载荷,一直无法在手机上应用。
凭着微机电在体积和功耗上的突破,最新技术MEMS Drive类似一张贴在图像传感器背面的平面马达,带动图像传感器在三个旋转轴移动。MEMS Drive 的防抖技术是透过陀螺仪感知拍照过程中的瞬间抖动,依靠精密算法,计算出马达应做的移动幅度并做出快速补偿。这一系列动作都要在百分之一秒内做完,你得到的图像才不会因为抖动模糊掉。
手机拍照带给我们随时随地的便捷,但是面对复杂的环境、多样的拍照场景,人手拍照有无法避免的抖动,像是走着跑着躺着拍照,或者把手伸长、手握自拍杆自拍,无论哪种抖动,凭借MEMS DRIVE马达独有的五轴防抖,和快速、精准控制的技术优势,都能呈现出更清晰更锐丽的图片
[1]

MEMS传感器研究现状
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语音
1、微机械压力传感器
微机械压力传感器是最早开始研制的微机械产品,也是微机械技术中最成熟、最早开始产业化的产品。从信号检测方式来看,微机械压力传感器分为压阻式和电容式两类,分别以体微机械加工技术和牺牲层技术为基础制造。从敏感膜结构来看,有圆形、方形、矩形、E形等多种结构。压阻式压力传感器的精度可达0.05%~0.01%,年稳定性达0.1%/F.S,温度误差为0.0002%,耐压可达几百兆帕,过压保护范围可达传感器量程的20倍以上,并能进行大范围下的全温补偿。现阶段微机械压力传感器的主要发展方向有以下几个方面。
(1)将敏感元件与信号处理、校准、补偿、微控制器等进行单片集成,研制智能化的压力传感器。
  (2)进一步提高压力传感器的灵敏度,实现低量程的微压传感器。
  (3)提高工作温度,研制高低温压力传感器。
  (4)开发谐振式压力传感器。
2、微加速度传感器
硅微加速度传感器是继微压力传感器之后第二个进入市场的微机械传感器。其主要类型有压阻式、电容式、力平衡式和谐振式。其中最具有吸引力的是力平衡加速度计,其典型产品是Kuehnel等人在1994年报道的AGXL50型。
  国内在微加速度传感器的研制方面也作了大量的工作,如西安电子科技大学研制的压阻式微加速度传感器和清华大学微电子所开发的谐振式微加速度传感器。后者采用电阻热激励、压阻电桥检测的方式,其敏感结构为高度对称的4角支撑质量块形式,在质量块4边与支撑框架之间制作了4个谐振梁用于信号检测。
3、微机械陀螺
角速度一般是用陀螺仪来进行测量的。传统的陀螺仪是利用高速转动的物体具有保持其角动量的特性来测量角速度的。这种陀螺仪的精度很高,但它的结构复杂,使用寿命短,成本高,一般仅用于导航方面,而难以在一般的运动控制系统中应用。实际上,如果不是受成本限制,角速度传感器可在诸如汽车牵引控制系统、摄象机的稳定系统、医用仪器、军事仪器、运动机械、计算机惯性鼠标、军事等领域有广泛的应用前景。常见的微机械角速度传感器有双平衡环结构,悬臂梁结构、音叉结构、振动环结构等。但是,实现的微机械陀螺的精度还不到10°/h,离惯性导航系统所需的0.1°/h相差尚远。
4、微流量传感器
  微流量传感器不仅外形尺寸小,能达到很低的测量量级,而且死区容量小,响应时间短,适合于微流体的精密测量和控制。国内外研究的微流量传感器依据工作原理可分为热式(包括热传导式和热飞行时间式)、机械式和谐振式3种。清华大学精密仪器系设计的阀片式微流量传感器通过阀片将流量转换为梁表面弯曲应力,再由集成在阀片上的压敏电桥检测出流量信号。该传感器的芯片尺寸为3.5mm×3.5mm,在10ml~200ml/min的气体流量下,线性度优于5%。
5、微气体传感器
根据制作材料的不同,微气敏传感器分为硅基气敏传感器和硅微气敏传感器。其中前者以硅为衬底,敏感层为非硅材料,是当前微气敏传感器的主流。微气体传感器可满足人们对气敏传感器集成化、智能化、多功能化等要求。例如许多气敏传感器的敏感性能和工作温度密切相关,因而要同时制作加热元件和温度探测元件,以监测和控制温度。MEMS技术很容易将气敏元件和温度探测元件制作在一起,保证气体传感器优良性能的发挥。
谐振式气敏传感器不需要对器件进行加热,且输出信号为频率量,是硅微气敏传感器发展的重要方向之一。北京大学微电子所提出的1种微结构气体传感器,由硅梁、激振元件、测振元件和气体敏感膜组成。硅梁被置于被测气体中后,表面的敏感膜吸附气体分子而使梁的质量增加,使梁的谐振频率减小。这样通过测量硅梁的谐振频率可得到气体的浓度值。对NO2气体浓度的检测实验表明,在0×10~1×10的范围内有较好的线性,浓度检测极限达到1×10,当工作频率是19kHz时,灵敏度是1.3Hz/10。德国的M.Maute等人在SiNx悬臂梁表面涂敷聚合物PDMS来检测己烷气体,得到-0.099Hz/10的灵敏度。
6、微机械温度传感器
微机械传感器与传统的传感器相比,具有体积小、重量轻的特点,其固有热容量仅为10J/K~10J/K,使其在温度测量方面具有传统温度传感器不可比拟的优势。开发了1种硅/二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器。基于硅和二氧化硅两种材料热膨胀系数的差异,不同温度下梁的挠度不同,其形变可通过位于梁根部的压敏电桥来检测。其非线性误差为0.9%,迟滞误差为0.45%,重复性误差为1.63%,精度为1.9%。
7、其他微机械传感器
利用微机械加工技术还可以实现其他多种传感器,例如瑞士Chalmers大学的PeterE等人设计的谐振式流体密度传感器,浙江大学研制的力平衡微机械真空传感器,中科院合肥智能所研制的振梁式微机械力敏传感器等
[2]

MEMS传感器分类
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语音
1、MEMS气体流量传感器:高精度,检测流量范围广,适用于各种需求的流量计测。
2、MEMS压力传感器:性能偏差小的MEMS压力传感器。
3、MEMS非接触温度传感器:对静止人体也能检测,高灵敏度的人体感应传感器。
4、MEMS开关:高频,小型,长寿命的MEMS开关。
MEMS传感器总结
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语音
中国在?MEMS?传感器领域的研究较晚,但已经成为不可或缺的力量,中国的部分专利权的创新主体协同格局前提下,加大政府科技资金投入不但可以消解技术创新发展中的资金阻滞,又有助于引导企业或单位技术创新意识,从而提高我国创新驱动效率,促进经济快速而稳健的发展
[3]


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温州润盛电子商务有限公司
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一、MEMS简介及应用MEMS是微机电系统的英文简称,全称是 Micro-Electro-Mechanical-System,又叫微电子机械系统、微系统、微机械等,是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。...
2019-10-230
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最新颖最前沿的技术和创新
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2018-09-180
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郑州炜盛电子科技有限公司
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2021-03-150
参考资料
1.

王淑华. MEMS传感器现状及应用[J]. 微纳电子技术, 2011, 48(8):516-522.
2.

刘凯, 陈志东, 邹德福,等. MEMS传感器和智能传感器的发展[J]. 仪表技术与传感器, 2007(9):9-10.
3.

宋海宾, 杨平, 徐立波. MEMS传感器随机误差分析及处理[J]. 传感技术学报, 2013(12):1719-1723.
mems加速度传感器:MEMS传感器  第2张

mems加速度传感器:MEMS加速度传感器

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B81B7/02;
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权利要求说明书
说明书
幅图
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54
)发明名称
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MEMS
加速度传感器
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57
)摘要
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本发明涉及微机电领域,具体指一种能检
测沿着三个正交轴加速度的
MEMS
加速度传感器,
其包括衬底、质量块,沿第一方向排布并垂直于
质量块的侧面的法向的若干第一动电极、平行于
第一动电极的若干第一定电极,第一动电极与第
一定电极之间具有重叠面积,第一动电极相较第
一定电极更远离质量块的上表面;垂直于第一方
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mems加速度传感器:传感器与MEMS

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mems加速度传感器:国内 MEMS传感器龙头敏芯股份

敏芯股份相关阅读:
《专注MEMS传感器的领先企业敏芯股份》
今天我们一起梳理一下敏芯股份,公司作为国内唯一掌握多品类MEMS芯片设计和制造工艺能力的上市公司,致力于成为行业领先的MEMS芯片平台型企业。经过多年的技术积累和研发投入,公司在现有MEMS传感器芯片设计、晶圆制造、封装和测试等各环节都拥有了自主研发能力和核心技术,同时能够自主设计为MEMS传感器芯片提供信号转化、处理或驱动功能的ASIC芯片,并实现了MEMS传感器全生产环节的国产化。公司目前主要产品线包括MEMS声学传感器、MEMS压力传感器和MEMS惯性传感器。
MEMS工艺本质上是一种微制造技术,基于MEMS技术制造的芯片有着低功耗、小型化和智能化的特征,是MEMS传感器和执行器的核心。MEMS芯片作为连接真实世界和数字世界最前端的芯片,有着“比模拟芯片更模拟的芯片”之称。在5G乃至未来更快传输速度和更大承载量的数据网络支持下,万物互联具备了发展的基础,MEMS传感器和执行器担负着数据世界中比同人的感官和神经末梢的功能,将迎来巨大的发展机遇。
公司将围绕传统消费电子(例如手机、电脑、耳机、手表等便携设备)、新兴消费电子(例如电子烟)、汽车、工业控制和医疗等下游市场,已经或即将开发和提供包括声学传感器、压力传感器、压感传感器、惯性传感器、流量传感器、微流控执行器、光学传感器等器件级产品,并针对下游市场需求,在丰富传感器产品类型的同时,还将提供包括惯导模组、车用各类压力模组、激光雷达模组等系统级产品。目前已使用公司产品的品牌包括华为、传音、小米、三星、OPPO、VIVO、联想、索尼、LG等。
MEMS 是指用微电子加工的方法来制造精密的机械装置,将机械系统微型化。MEMS 全称为 Micro-Electro Mechanical System,即微机电系统,是集微型传感器、执行器、机械结构、电源能源、信号处理、控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微米或纳米级器件或系统。简单理解,MEMS 工艺就是将传统机械系统的部件微型化后,利用半导体加工技术将微型机械系统和集成电路固定在硅晶圆上,然后根据不同的应用场景采用特殊定制的封装形式,最终切割组装成硅基换能器。
MEMS 工艺具有低功耗、小型化、一致性高等多处优势,正逐步替代传统机械传感器。相比传统的机械系统,微机电系统具有微型化、重量低、功耗低、成本低、功能多等竞争优势,可通过微纳加工工艺进行批量制造、封装和测试,因此量产性与一致性都优于传统机械系统。MEMS 技术满足了消费电子市场对小体积、高性能传感器的需求,正逐步取代传统的机械传感器。
MEMS 产品主要可以分为 MEMS 传感器和 MEMS 执行器。其中传感器是用于探测和检测物理、化学、生物等现象和信号的器件,而执行器是用于实现机械运动、力和扭矩等行为的器件。MEMS 产品目前以传感器为主,MEMS 执行器领域仅射频MEMS 和喷墨打印头市场规模相对较大。
消费电子的兴起推动 MEMS 应用快速成长。纵观 MEMS 行业的发展历史,汽车产业、医疗及健康监护产业、通信产业以及手机和游戏机等个人电子消费品产业相继促进了 MEMS 产业的快速发展。尤其是 2007 年以来,随着以智能手机为代表的消费电子产品的快速普及和发展,MEMS 商业化的进展明显加快。
分行业看,消费电子目前占据 MEMS 市场近 60%份额,是最大应用领域,并且占比逐年升高。下游应用领域中,消费电子占比达 59.6%,其次是汽车电子占比 18.9%,工控占比 10.9%。
智能手机、PC 等为代表的传统消费电子带动了第一轮 MEMS 商业化加速。MEMS 开始是应用于汽车电子领域,但在消费电子兴起前,MEMS 市场规模增速显著放缓。MEMS 传感器小型化与可批量制造的能力完美契合消费电子需求,射频MEMS、微型麦克风、压力传感器、加速度计、陀螺仪等 MEMS 产品都在智能手机、PC 等消费电子上得到了广泛运用,2010 年后消费电子为 MEMS 行业带来了巨大的成长动能。
可穿戴设备与智能音箱为代表的新消费电子的兴起推动了 MEMS 第二轮高速成长。除了智能手机、平板电脑和笔记本电脑等主流消费电子产品外,近年来涌现出的智能家居和可穿戴设备等新兴应用领域也广泛使用了 MEMS 传感器产品,如智能手表安装了 MEMS 加速度计、陀螺仪、微型麦克风和脉搏传感器,TWS 耳机中使用了MEMS 麦克风、压感、骨传导等传感器,VR/AR 设备采用 MEMS 加速度计、陀螺仪和磁传感器来精确测定头部转动的速度、角度和距离等。
未来,随着物联网和人工智能技术的不断发展,MEMS 产品作为信息获取和交互的关键器件,市场空间将不断扩大,新的应用场景亦层出不穷。在物联网的结构中,感知层处于最底层,是物联网的先行技术,也是其数据和物理实体基础,而感知层中分布的各类传感器就是获取信息的关键,传感器及其芯片提供商在物联网产业链中扮演了重要角色。同样,在人工智能领域,MEMS 传感器承担了类似人体的各项感官功能,是未来人工智能领域不可或缺的组成部分。未来伴随着物联网和人工智能的市场规模扩大,相应 MEMS 传感需求也将同步提升。
中国已成为全球 MEMS 最大市场,且预计未来将继续领跑全球。综合上述增长因素,全球 MEMS 行业在未来几年将持续每年两位数的增长。2020 年全球 MEMS行业市场规模已达到 175 亿美元,预计 2020-2025 年行业 CAGR 达 10.18%。国内MEMS 行业受益于中国消费电子类产品产量的稳定增长,已经成为全球 MEMS 市场规模最大的国家,2021年中国MEMS市场已达全球50%。预计至2022年中国MEMS市场规模将达到 140 亿美元。
MEMS 麦克风用途广泛,继智能手机需求增长后 IoT 成新需求方向。语音交互是智能设备接收信息的重要方式,因此 MEMS 麦克风广泛应用于消费电子、医疗、工业等各行各业。2017 年前手机是 MEMS 麦克风主要需求领域,但消费者换机需求减弱后手机销量的增速有所放缓。随着设备智能程度的提升和新兴应用领域如 TWS耳机的出现,MEMS 麦克风市场又迎新一轮增长。
MEMS 麦克风领域公司市占率已至全球前列,随着品牌客户的放量公司市占率将进一步提高。根据 IHS Markit 的数据统计,2018 年全球 MEMS 麦克风出货量排名前五的厂商分别为楼氏、歌尔股份、瑞声科技、敏芯和意法半导体。过去楼氏、歌尔、瑞声在品牌客户资源方面都优于公司,但随着产品竞争力的不断提升,公司在品牌客户方面也在加速追赶中,尤其是 TWS 耳机领域。根据敏芯披露的投资者关系活动记录,公司于 2021 年一季度已经进入一家客户的 AVL(准入供应商名单),今年预计还会陆续再取得多家客户的 AVL,公司出货规模预计将持续增长。
压力传感器是 MEMS 传感器行业中市场规模最大的细分市场之一,在汽车、消费电子、工业、医疗和航空领域有着广泛的应用。汽车是压力传感器应用最多的领域,消费电子中在手机和可穿戴设备中也用于高度计、压感触控等功能。根据 Yole 预测,2017 年全球压力传感器市场规模为 16.36 亿美元,预计 2023 年市场规模将超过 20亿美元,市场空间稳步提升。
MEMS 惯性传感器主要应用于消费电子和汽车领域。MEMS 惯性传感器主要用于测量线性加速度、振动、冲击和倾角等物理属性。消费电子产品中的惯性传感器可以实现屏幕翻转、游戏控制、摄像防手抖和硬盘保护等功能,还能够帮助 GPS 系统导航对死角进行测量。在汽车领域,惯性传感器的快速反应可以提升汽车安全气囊、防抱死系统、牵引控制系统的安全性能。根据 Yole Development 的统计,2017 年全球各品类惯性传感器合计市场容量为 35.31 亿美元,预计到 2023 年市场总规模将突破 40 亿美元。其中加速度计是目前出货量最大的产品,占据了整个 MEMS 惯性传感器市场规模的三分之一以上。
MEMS 压力和惯性传感器全球市场份额被国外厂商占据,国产替代空间广阔。MEMS 压力和惯性传感器都具有多品种、小批量的特点,技术经验和专业人才的积累是领先公司核心竞争力。目前国内缺乏从事 MEMS 压力传感器研发与量产的大型企业,全球 MEMS 压力传感器市场的市场份额仍然主要被博世、英飞凌、意法半导体等国外厂商占据。国内厂商在消费电子等行业有望通过细分产品实现突破,国产替代空间广阔。
公司围绕消费电子与汽车需求加速研发压力与惯性传感器产品。公司上市前受制于资金能力,在压力与惯性传感器方面投入不足。上市后,公司加速研发微差压传感器、高度计、防水气压计、水深计芯片、加速度计传感器、骨传导传感器、压感传感器等产品,增强消费电子覆盖品类。同时,在汽车领域加大对压力传感器产品的研发力度和产品储备,力求在未来几年中抓住国有汽车电子产业链重塑的历史机会。
一、国内 MEMS传感器龙头
敏芯股份成立于2007年,开始深耕硅MEMS传感芯片领域;2009年推出第一款压力传感器,2015年完成专项“新型MEMS数字声学传感器的研发及产业化”;2017年完成“低功率IIS数字输出MEMS声学传感器的研发及产业化”;2020年科创板上市。
二、业务分析
2017-2020年,营业收入由1.13亿元增长至3.30亿元,复合增长率42.94%,20年同比增长16.21%,2021Q1实现营收同比增长51.82%至0.88亿元;归母净利润由0.13亿元增长至0.42亿元,复合增长率47.83%,20年同比下降30.00%,2021Q1实现归母净利润同比下降30.40%至0.04亿元;扣非归母净利润由0.15亿元增长至0.36亿元,复合增长率33.89%,20年同比下降30.06%,2021Q1实现扣非归母净利润同比下降42.56%至0.03亿元;经营活动现金流分别为0.20亿元、0.47亿元、0.43亿元、0.18亿元,20年同比下降56.75%,2021Q1实现经营活动现金流-0.12亿元。
分产品来看,2020年MEMS声学传感器实现营收同比增长13.75%至2.91亿元,占比88.28%,毛利率减少4.40pp至35.03%;MEMS压力传感器实现营收同比增长60.88%至2988.42万元,占比9.07%,毛利率增加2.90pp至46.43%;MEMS惯性传感器实现营收同比下降11.052%至857.42万元,占比2.60%,毛利率增加4.88pp至12.51%;技术服务实现营收18.87万元,占比0.06%,毛利率100%。
2020年前五大客户实现营收1.51亿元,占比45.67%,其中第一大客户实现营收3904.26万元,占比11.84%。
三、核心指标
2017-2020年,毛利率18年提高至高点44.03%,随后逐年下降至35.48%;期间费用率由14.22%下降至19年低点8.28%,20年上涨至10.92%,其中销售费用率由4.39%下降至2.48%,管理费用率由8.74%下降至19年低点6.30%,20年上涨至9.34%,财务费用率由1.09%下降至-0.90%;利润率18年提高至高点21.41%,随后逐年下降至12.92%,加权ROE18年提高至高点52.18%,随后逐年下降至7.55%。
四、杜邦分析
净资产收益率=利润率*资产周转率*权益乘数
由图和数据可知,18年净资产收益率的提高是由于利润率和资产周转率的提高,19-20年净资产收益率的下降是由于利润率、资产周转率和权益乘数共振下降所致。
五、研发支出
2020年公司研发投入同比增长17.87%至4204.34万元,占比12.74%;截止2020年末公司研发人员123人,占比23.99%。
六、估值指标
PE-TTM 135.52,位于上市以来中值附近。
根据机构一致性预测,敏芯股份2023年业绩增速在62.56%左右,EPS为3.08元,18-23年5年复合增长率25.21%。目前股价101.23元,对应2023年估值是PE 32.87倍左右,PEG 0.53左右。
看点:
MEMS行业在国内依托消费电子需求的高成长以及行业高壁垒属性,公司作为MEMS行业龙头在工艺和设计方面具备优势,享受行业高成长红利。
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