传感器认识:传感器认识(最新整理)

2021/11/03 20:35 · 传感器知识资讯 ·  · 传感器认识:传感器认识(最新整理)已关闭评论
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传感器认识:传感器认识(最新整理)《传感器认识(最新整理)》由会员分享,可在线阅读,更多相关《传感器认识(最新整理)(2页珍藏版)》请在人人文库网上搜索。1、通过对传感器与执行器工程学课程的学习以及阅读相关书籍资料,我对这门学科有了一

传感器认识:传感器认识(最新整理)

《传感器认识(最新整理)》由会员分享,可在线阅读,更多相关《传感器认识(最新整理)(2页珍藏版)》请在人人文库网上搜索。

1、通过对传感器与执行器工程学课程的学习以及阅读相关书籍资料,我对这 门学科有了一定的了解。它是一门综合性的技术基础学科,需要数学、物理学、电子学、力学、机械等相关知识。传感器应用极其广泛,而且种类繁多,这一 个学期的学习让我基本了解了传感器的基本概念及传感器的静、动态特性电阻 式、电容式、电感式、压电式、热电式、磁敏式、光电式传感器与光纤传感器 的结构、工作原理及应用。传感器的特性主要是指输出与输入之间的关系。当输入量为常量或变化很慢时,其关系为静态特性。当输入量随时间变换较快时,其关系为动态特性。传感器的静态特性是指对静态的输入信号,传感器的输出量与输入量之间所具有相互关系。因为这时输入量和输

2、出量都和时间无关,所以它们之间的关系,即传感器的静态特性可用一个不含时间变量的代数方程,或以输入量作横坐标,把与其对应的输出量作纵坐标而画出的特性曲线来描述。表征传感器静态特性的主要参数有:线性度、灵敏度、迟滞、重复性、漂移等所谓动态特性,是指传感器在输入变化时,它的输出的特性。在实际工作中,传感器的动态特性常用它对某些标准输入信号的响应来表示。这是因为传感器对标准输入信号的响应容易用实验方法求得,并且它对标准输入信号的响应与它对任意输入信号的响应之间存在一定的关系,往往知道了前者就能推定后者。最常用的标准输入信号有阶跃信号和正弦信号两种,所以传感器的动态特性也常用阶跃响应和频率响应来表示。传

3、感器的作用主要是感受和响应规定的被测量,并按一定规律将其转换成有用输出,特别是完成非电量到电量的转换。传感器的组成并无严格的规定。我们所研究的课题主要是跟盾构机相关。我们平时研究工作中应用的数据 都是由企业人员或者我们自己去工作现场利用传感器测出。由于入学的时间有 限,目前我所接触的科研项目尚未涉及到太多的传感器内容,只是最近教研室 新添了一些不同量程的测力传感器。这些传感器通过无限网关以及节点来进行 数据传输,不过需要人工进行标定。在标定的过程中,我们发现测量误差很大, 我们分析是由于标定过程中的实物质量远远小于传感器的量程的原因。“”“”At the end, Xiao Bian give

4、s you a passage. Minand once said, people who learn to learn are very happy people. In every wonderful life, learning is an eternal theme. As a professional clerical and teaching position, I understand the importance of continuous learning, life is diligent, nothing can be gained, only continuous le

5、arning can achieve better self. Only by constantly learning and mastering the latest relevant knowledge, can employees from all walks of life keep up with the pace of enterprise development and innovate to meet the needs of the market. This document is also edited by my studio professionals, there may be errors in the document, if there are errors, please correct, thank you!

传感器认识:传感器认识(最新整理)  第1张

传感器认识:简述你对传感器的认识

安森美AR0234CS图像传感器获人工智能产品创新奖

新物联号:科技前沿 2021-8-23 共有: 524 浏览
2021年8月23日 —安森美(onsemi,纳斯达克股票代号:ON)宣布其全局快门AR0234CS 230万像素CMOS图像传感器在“2021年中国人工智能卓越创新奖”评选中获选为“最具创新价值产品奖”。

2022第十五届北京国际智慧城市、物联网、大数据博览会

新物联号:张俊红 2021-8-24 共有: 663 浏览
为大力将展会提高全面性、品牌性、提升规模,档次、也为服务于全国各地区,定于2022年04月在中国国际展览中心举办“2022第十五届北京国际智慧城市、物联网、大数据博览会”诚恳邀请各新老参展商积极参展!

南京智博会主题展:2021南京国际智慧灯杆及智慧路灯展览会

新物联号:张俊红 2021-8-24 共有: 333 浏览
普通路灯解决了照明问题,文化路灯打造了城市名片,智慧路灯将成为智慧城市入口。“新基建”浪潮下,地方专项债规模扩大,累计地方专项债发行额为.92亿元,同比增长148.45%,国内首只智慧灯杆的专项债落地,开创公路领域发行智慧路灯专项债券先河,“多杆合一、一杆多用”成为城市现代化建设大趋势。随着行业成长,有实际产品、能落地实施项目的智慧灯杆企业数量从2015年5家发展到了如今的40-50家,

2021 南京智博会AIOTE 第十四届南京智慧城市、物联网、大数据博览会

新物联号:张俊红 2021-8-24 共有: 297 浏览
由南京大数据产业协会、北京铭世博国际展览有限公司联合主办、南京垠坤投资实业有限公司协办的2021南京智博会AIOTE暨第十四届南京智慧城市、物联网、大数据博览会将于2021年12月8日-10日在南京国际展览中心举办。

自连科技物联网产品四大应用方向

新物联号:自连科技 2021-8-24 共有: 241 浏览
为了满足不断扩大的市场需求,支持设备开发商、设计公司、系统集成商和用户在这些宏大的新赛道中快速导入物联网和智能化技术,自连科技精心打造了一个全面的智能与物联产品和解决方案技术平台,并通过持续深耕医疗和工业物联网应用,形成了以下四条物联网产品主线并在此基础上不断推出新品,以及可根据不同场景中的设备状态和客户需求,快速实现定制方案的服务能力。

2022中国(上海)国际网络信息安全技术展览会

新物联号:随心所欲 2021-8-24 共有: 233 浏览
国际网络信息安全技术展览会 ,是中国(上海)国际技术进出口交易会(简称上交会CSITF),的主体活动之一,是经国务院批准,由中华人民共和国商务部、科技部、国家知识产权局和上海市人民政府共同主办,联合国工发组织UNIDO、联合国开发计划署UNDP、世界知识产权组织WIPO支持,上海市国际技术进出口促进中心、中国机电产品进出口商会、东浩兰生(集团)有限公司、上海杰程国际展览有限公司共同承办的专门为技术

“碳中和”愿景下的智慧灯杆,为智能交通全链条减碳助力

新物联号:睿泽物联 2021-8-24 共有: 278 浏览
要实现碳中和,需要大力发展智慧交通和绿色交通,已经成为行业共识。在新一轮科技革命的浪潮下,智慧灯杆+无人驾驶模式实现智慧交通全链条减碳,助力道路交通“碳中和”是智慧交通的发展趋势。

地下水位自动监测系统设备

新物联号:万和仪表 2021-8-24 共有: 281 浏览
万和水位自动监控仪地下水位自动监测计(水温水位计)是为了应对苛刻的测量工况而设计。传感器采用了先进的微处理技术进行了全方位线性误差和温度误差补偿,确保测量结果达到高准确度要求;
水位水温计原理 编辑
传感器采用了先进的微处理技术进行了全方位线性误差和温度误差补偿,确保测量结果达到高准确度要求;
水位监测技术参考指标 编辑
wh311探头采用了全灌

探索公园区的物联网研究合作伙伴

新闻来源:新物联Newiot 翻译 WishTV原创 2021-8-24 共有: 185 浏览
印第安纳州西拉斐特(印第安纳州商业内部)— 普渡大学探索公园区宣布了一项与物联网技术相关的合作伙伴关系。该学区正在与大学的 SMART 联盟合作,努力推进物联网技术并研究如何使用它。

5G迅速商用快速发展看物联网连接的未来

新闻来源:新物联Newiot 翻译 Abhinav Dubey原创 2021-8-24 共有: 208 浏览
物联网正在以比我们所有人想象的更无情的方式扩张。其影响与二十年前的互联网一样巨大而持久。该网络上有难以想象的数据流,预计加入联盟的设备数量无需介绍。已经围绕它们进行了很多讨论。可以说我们存储和共享的数据会与某些物联网网络交叉,这并没有错。因此,我们所知道的互联网是来自未来的物联网。

【高交会IT展】用科技守护城市安全,智慧生活未来可期

新闻来源:高交会IT展组委会 2021-8-25 共有: 166 浏览
众所周知,安防是关系到国家安全、公共安全、民生安全的核心产业!近年来,在网络、数据、计算、芯片、算法等基础能力技术的助推下,随着物联网、大数据分析、人工智能等技术和应用的不断成熟,特别是计算机视觉、视频结构化分析、视频图像深度学习等人工智能技术的引入,城市公共安防智慧化水平不断提升。当下,随着国内安防市场规模发展,智能化程度加强,安防行业正在进行一次迅速又彻底的升级换代,人工智能技术更是成为更新换

烤箱不可或缺的湿度传感器

新物联号:上海高传电子 2021-8-25 共有: 183 浏览
SST 的氧化锆氧气传感器测量氧气的分压。空气中的水分子置换并稀释氧分子,导致水蒸气压发生变化。接接通过RS485数字协议读取氧分压,并将其上传到烤箱控制器中,从而计算出水汽含量。

环保用水位监测计

新物联号:万和仪表 2021-8-25 共有: 157 浏览
环保井深仪水位计特有的三重防水设计,经过3999次水下测试,IP68防水等级大大的提升了产品的防水性能(贵州某地质局1000米量程深井使用均无故障) 万和仪表承诺,三年内水位探头进水包换新机。Wh311水位传感器采用德州仪器(TI)公司,原装芯片放大电路 三重防雷是一种全密封潜入式扩散硅液位测量仪表,专用线缆与外壳密封连接,可长期投入与变送器结构材料相兼容的液体中使用。用微机械加工技术制作的高灵敏

物联网系统--2021智慧城市(成都)建筑产业展览会

新物联号:展会咨询 2021-8-26 共有: 267 浏览
2021成都智慧城市建设产业博览会将于2021年11月19-21日在成都西部国际博览城举办。参展联系:(微信同号)

2022杭州国际传感器与微系统技术及应用展览会

新物联号:昶文展览 2021-8-26 共有: 132 浏览
2022杭州国际传感器与微系统技术及应用展览会,将于2022年3月30日-4月1日在“杭州国际博览中心”隆重举行,本届展会秉承着"创造客户价值与引领产业发展"的宗旨,强化以"采购商协约式邀请"为核心的买家组织手段,打造以展览展示与贸易洽谈为核心的实效活动体系,全力以赴打造高规格、品质高、高实效的交流贸易盛会!

2022中国(重庆)国际机器视觉技术及工业应用展览会

新物联号:昶文展览 2021-8-26 共有: 96 浏览
近年来,机械视觉行业正以34%的比例快速增长。人们正逐步将焦点集中在机械视觉行业的更高价值区域。越来越多的中国机械视觉技术开发商希望能在行业内分一杯羹。

2022中国(重庆)国际嵌入式系统展览会

新物联号:昶文展览 2021-8-26 共有: 123 浏览
重庆国际嵌入式系统展览会将于2022年7月31-8月2日 重庆 ? 重庆国际博览中心由上海昶文展览服务有限公司主办,30余行业协会及40多个国际使馆商会的鼎力支持。将深度挖掘西部及周边制造业市场需求,随着物联网产业的快速发展,深度学习与AI人工智能技术在各行业开始应用,嵌入式技术的发展将备受瞩目。以展示“智能化、自动化、信息化、数字化”等新技术新理念,汇聚来自世界各地科研及工业领域的专

2022重庆国际AGV小车暨智能仓储应用技术展览会

新物联号:昶文展览 2021-8-26 共有: 120 浏览
《中国制造2025》提出了实现中国从制造大国到制造强国的目标,本质上是要大力发展以先进制造业为基础的实体经济,否则无法实现真正的大国崛起。而制造业转型升级的关键点是智能工厂物流与智能供应链,智能化和自动化是降低全社会物流费用率的终极解决方案。国内企业在智能物流领域的技术积累较好,并且正在加速吸收国外先进技术,有望快速切入中高端市场、实现高速成长。工业4.0的核心组成部分——智能物流仓储装备行业将成

安森美(onsemi)将收购GT Advanced Technologies

新物联号:科技前沿 2021-8-26 共有: 107 浏览
领先的智能电源和感知技术供应商安森美(onsemi,美国纳斯达克股票代号:ON)和碳化硅 (SiC) 生产商GT Advanced Technologies ("GTAT") 于美国时间8月25日宣布已达成最终协议。根据该协议,安森美将以4.15亿美元现金收购GTAT。

SF6气体泄漏监测的重要意义

新物联号:上海高传电子 2021-8-26 共有: 157 浏览
SF6气体泄漏监测系统可实时监测开关室内SF6浓度。当SF6浓度大于或等于1000ppm时,自动报警并启动风机。

传感器认识:传感器认识(最新整理)  第2张

传感器认识:网络安全宣传周|快快网络为维护网络安全提供坚强后盾

未来5至10年,物联网市场会对中国经济和GDP产生最大的影响。而物联网的重中之重就是传感器,产生的大量需求将使传感器有更多的价值体现。它的性能涉及两个方面,一方面是单个传感器的精确度,另一方面是能否做到多种数据的融合,通过多种数据产生新的性能,新的数据。
1. 温度传感器
顾名思义,温度传感器就是能感受温度,测量热源中的热能并将这些变化转换为数据。制造业中使用的机械通常要求环境和设备温度处于特定水平。在农业内部,土壤温度是作物生长的关键因素。它分为接触式和非接触式,接触式就像温度计,日常生活中也常常出现;非接触式可以用来测量运动物体或温度变化迅速的对象等,它的优点就是测量上限不受感温元件耐温程度的限制。
2. 湿度传感器
湿度传感器用于测量空气或其他气体中的水蒸气量,常见于工业和住宅领域的加热、通风和空调(HVAC)系统中。它们可以在许多其他领域发现,包括医院,和气象站报告和预测天气。
3. 压力传感器
压力传感器可以感受气体和液体的变化。常见的使用案例有泄漏测试,这可能是衰减的结果。压力传感器在水系统的制造中也很有用,它可以轻易检测到压力的波动或下降。
4. 近距离传感器
也称为接近传感器,用于对传感器附近的物体进行非接触检测。用途有识别对象、检验距离、尺寸控制、转速与速度控制等。有一些使用案例比如,在零售业中,近距离传感器可以检测到顾客和他或她感兴趣的产品之间的运动。用户可以得到位于传感器附近的产品的任何折扣或特别优惠的通知。还可用于商场、体育场和机场的停车场,来标识停车场的可用性。
5. 气体传感器
这类传感器主要检测空气质量的变化,包括有毒、可燃或有害气体的存在。可以运用的行业有采矿、石油和天然气、化学研究和制造等。一个常见的消费者使用案例是许多家庭中使用的熟悉的二氧化碳检测器。
6. 光学传感器
光学传感器的原理就是把光线转换成电信号。在汽车行业,可以用来识别标志、障碍物以及停车时该注意的东西等。无人驾驶汽车的发展,也需要靠光学传感器发挥巨大作用。它在智能手机中很常见,环境光传感器可以延长电池寿命。在医学方面,可以用在呼吸分析以及心率监测器。
7. 红外线传感器
根据红外线的特性,它被用于多种传感器中,比如红外湿温度传感器、人体红外探测器等等。电视机使用红外传感器来接收遥控器发送的信号。发出的方式不同,它也分为主动式和被动式两种。能量转换方式的不同,又可分为光子式和热释电式两种
8.位移传感器
位移传感器又叫线性传感器,是一种属于金属感应的线性器件,传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。小位移通常用应变式、电感式、差动变压器式、涡流式、霍尔传感器来检测,大位移常用感应同步器、光栅、容栅、磁栅等传感技术。它通过电位器元件将机械位移转换成与之成线性或任意函数关系的电阻或电压输出。它的缺点是易磨损,但是它输出信号大,易用价廉。
未来,传感器将变得更加小型化、人性化,人机交互更加友好,在逐渐互联互通和自动化的世界中,传感器将使我们的生活更加美好。
举报/反馈传感器认识:传感器认识(最新整理)  第3张

传感器认识:认识传感器的领域

描述
  MEMS传感器是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。
  一、MEMS传感器的主要分类
  1、传感
  传感MEMS技术是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、压电、压阻、热电耦、谐振、隧道电流等来感受转换电信号的器件和系统。它包括速度、压力、湿度、加速度、气体、磁、光、声、生物、化学等各种传感器,按种类分主要有:面阵触觉传感器、谐振力敏感传感器、微型加速度传感器、真空微电子传感器等。传感器的发展方向是阵列化、集成化、智能化。由于传感器是人类探索自然界的触角,是各种自动化装置的神经元,且应用领域广泛,未来将备受世界各国的重视。
  2、生物
  生物MEMS技术是用MEMS技术制造的化学/生物微型分析和检测芯片或仪器,有一种在衬底上制造出的微型驱动泵、微控制阀、通道网络、样品处理器、混合池、计量、增扩器、反应器、分离器以及检测器等元器件并集成为多功能芯片。可以实现样品的进样、稀释、加试剂、混合、增扩、反应、分离、检测和后处理等分析全过程。它把传统的分析实验室功能微缩在一个芯片上。生物MEMS系统具有微型化、集成化、智能化、成本低的特点。功能上有获取信息量大、分析效率高、系统与外部连接少、实时通信、连续检测的特点。国际上生物MEMS的研究已成为热点,不久将为生物、化学分析系统带来一场重大的革新。
  3、光学
  随着信息技术、光通信技术的迅猛发展,MEMS发展的又一领域是与光学相结合,即综合微电子、微机械、光电子技术等基础技术,开发新型光器件,称为微光机电系统(MOEMS)。它能把各种MEMS结构件与微光学器件、光波导器件、半导体激光器件、光电检测器件等完整地集成在一起。形成一种全新的功能系统。MOEMS具有体积小、成本低、可批量生产、可精确驱动和控制等特点。较成功的应用科学研究主要集中在两个方面:一是基于MOEMS的新型显示、投影设备,主要研究如何通过反射面的物理运动来进行光的空间调制,典型代表为数字微镜阵列芯片和光栅光阀;二是通信系统,主要研究通过微镜的物理运动来控制光路发生预期的改变,较成功的有光开关调制器、光滤波器及复用器等光通信器件。MOEMS是综合性和学科交叉性很强的高新技术,开展这个领域的科学技术研究,可以带动大量的新概念的功能器件开发。
  4、射频
  射频MEMS技术传统上分为固定的和可动的两类。固定的MEMS器件包括本体微机械加工传输线、滤波器和耦合器,可动的MEMS器件包括开关、调谐器和可变电容。按技术层面又分为由微机械开关、可变电容器和电感谐振器组成的基本器件层面;由移相器、滤波器和VCO等组成的组件层面;由单片接收机、变波束雷达、相控阵雷达天线组成的应用系统层面。
  二、MEMS传感器的主要应用领域有哪些?
  1、医疗
  MEMS传感器应用于无创胎心检测,检测胎儿心率是一项技术性很强的工作,由于胎儿心率很快,在每分钟l20~160次之间,用传统的听诊器甚至只有放大作用的超声多普勒仪,用人工计数很难测量准确。而具有数字显示功能的超声多普勒胎心监护仪,价格昂贵,仅为少数大医院使用,在中、小型医院及广大的农村地区无法普及。此外,超声振动波作用于胎儿,会对胎儿产生很大的不利作用。尽管检测剂量很低,也属于有损探测范畴,不适于经常性、重复性的检查及家庭使用。
  基于VTI公司的MEMS加速度传感器,提出一种无创胎心检测方法,研制出一种简单易学、直观准确的介于胎心听诊器和多普勒胎儿监护仪之间的临床诊断和孕妇自检的医疗辅助仪器。通过加速度传感器将胎儿心率转换成模拟电压信号,经前置放大用的仪器放大器实现差值放大。然后进行滤波等一系列中间信号处理,用A/D转换器将模拟电压信号转换成数字信号。通过光隔离器件输入到单片机进行分析处理,最后输出处理结果。
  基于MEMS加速度传感器设计的胎儿心率检测仪在适当改进后能够以此为终端,做一个远程胎心监护系统。医院端的中央信号采集分析监护主机给出自动分析结果,医生对该结果进行诊断,如果有问题及时通知孕妇到医院来。该技术有利于孕妇随时检查胎儿的状况,有利于胎儿和孕妇的健康。
  2、汽车
  MEMS压力传感器主要应用在测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力。这种传感器用单晶硅作材料,以采用MEMS技术在材料中间制作成力敏膜片,然后在膜片上扩散杂质形成四只应变电阻,再以惠斯顿电桥方式将应变电阻连接成电路,来获得高灵敏度。车用MEMS压力传感器有电容式、压阻式、差动变压器式、声表面波式等几种常见的形式。
  而MEMS加速度计的原理是基于牛顿的经典力学定律,通常由悬挂系统和检测质量组成,通过微硅质量块的偏移实现对加速度的检测,主要用于汽车安全气囊系统、防滑系统、汽车导航系统和防盗系统等,除了有电容式、压阻式以外,MEMS加速度计还有压电式、隧道电流型、谐振式和热电偶式等形式。其中,电容式MEMS加速度计具有灵敏度高、受温度影响极小等特点,是MEMS微加速度计中的主流产品。
  微陀螺仪是一种角速率传感器,主要用于汽车导航的GPS信号补偿和汽车底盘控制系统,主要有振动式、转子式等几种。应用最多的属于振动陀螺仪,它利用单晶硅或多晶硅的振动质量块在被基座带动旋转时产生的哥氏效应来感测角速度。例如汽车在转弯时,系统通过陀螺仪测量角速度来指示方向盘的转动是否到位,主动在内侧或者外侧车轮上加上适当的制动以防止汽车脱离车道,通常,它与低加速度计一起构成主动控制系统。
  3、运动追踪
  在运动员的日常训练中,MEMS传感器可以用来进行3D人体运动测量,对每一个动作进行记录,教练们对结果分析,反复比较,以便提高运动员的成绩。随着MEMS技术的进一步发展,MEMS传感器的价格也会随着降低,这在大众健身房中也可以广泛应用。
  在滑雪方面,3D运动追踪中的压力传感器、加速度传感器、陀螺仪以及GPS可以让使用者获得极精确的观察能力,除了可提供滑雪板的移动数据外,还可以记录使用者的位置和距离。在冲浪方面也是如此,安装在冲浪板上的3D运动追踪,可以记录海浪高度、速度、冲浪时间、浆板距离、水温以及消耗的热量等信息。
  4、手机拍照
  在MEMS Drive出现之前,手机摄像头主要由音圈马达移动镜头组的方式实现防抖(简称镜头防抖技术),受到很大的局限。而另一个在市场上较高端的防抖技术:多轴防抖,则是利用移动图像传感器(Image Sensor)补偿抖动,但由于这个技术体积庞大、耗电量超出手机载荷,一直无法在手机上应用。
  凭着微机电在体积和功耗上的突破,最新技术MEMS Drive类似一张贴在图像传感器背面的平面马达,带动图像传感器在三个旋转轴移动。MEMS Drive 的防抖技术是透过陀螺仪感知拍照过程中的瞬间抖动,依靠精密算法,计算出马达应做的移动幅度并做出快速补偿。这一系列动作都要在百分之一秒内做完,你得到的图像才不会因为抖动模糊掉。
  目前,全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作,已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品,其中MEMS传感器占相当大的比例。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比,它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时,在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。
  随着时间的推移和技术的逐步发展,MEMS所包含的内容正在不断增加,并变得更加丰富。MEMS内容归纳为集成传感器、微执行器和微系统。人们还把微机械、微结构、灵巧传感器和智能传感器归入MEMS范畴。制作MEMS的技术包括微电子技术和微加工技术两大部分。微电子技术的主要内容有:氧化层生长、光刻掩膜制作、光刻选择掺杂(屏蔽扩散、离子注入)、薄膜(层)生长、连线制作等。
  微加工技术的主要内容有硅表面微加工和硅体微加工(各向异性腐蚀、牺牲层)技术、晶片键合技术、制作高深宽比结构的LIGA技术等。利用微电子技术可制造集成电路和许多传感器。微加工技术很适合于制作某些压力传感器、加速度传感器、微泵、微阀、微沟槽、微反应室、微执行器、微机械等,这就能充分发挥微电子技术的优势,利用MEMS技术大批量、低成本地制造高可靠性的微小卫星。
  MEMS技术主要属于微米技术范畴,MEMS技术大都基于现有技术,用由大到小的技术途径制作出来的,发展了一批新的集成器件,大大提高了器件的功能和效率,已显示出了巨大的生命力。MEMS技术的发展有可能会像微电子一样,对科学技术和人类生活产生革命性的影响,尤其对微小卫星的发展影响更加深远,必将为大批量生产低成本高可靠性的微小卫星打开大门。
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